揚州企業研發半導體制造設備取得新突破。近日，記者從揚州思普爾科技有限公司獲悉，該公司已完成涂膠機、顯影機、等離子去膠機樣機的制造，正進行工藝實測，預計6月正式量產。總經理張桂陽介紹：“擴散爐、清洗機的研發已接近尾聲，預計7月出樣機。”

突破“卡脖子”技術，這家企業研發出系列半導體制造設備

研發出半導體制造設備，是我市電子信息制造產業擴鏈補鏈強鏈的最新突破。半導體產業不僅是電子信息制造產業的“皇冠”，也是工業轉型升級和經濟社會智能化發展的基石，分為集成電路、分立器件(特色工藝集成電路)、光電子器件和傳感器件等類別。近年來，隨著一批技改項目上馬和招商引資企業落戶，我市電子信息制造產業正在加快擴鏈補鏈強鏈步伐。

制造設備是半導體產業鏈國產化率最低的環節之一。思普爾科技能夠突破“卡脖子”技術，緣于在行業內久久為功的深耕，以及與韓國一家技術團隊的合作。

思普爾科技2011年成立，從事半導體制造設備的研發、生產與技術服務，核心成員曾在國內知名科研院所和海外半導體機構擔任研發高管，具有豐富的工廠化技術實踐經驗。近年來，隨著國家大力發展半導體產業，思普爾科技迎來爆發式增長，2018年銷售1500萬元，去年銷售已過億元。

2019年11月，思普爾科技與韓國一家技術團隊簽訂協議，立項研發芯片制造設備，計劃今年實現產業化。“我們的產品可替代進口設備，用于制造6英寸、8英寸和12英寸芯片。”張桂陽介紹，“此前，我們和韓國技術團隊各負責一部分，零部件在揚州完成組裝。通過接觸后，雙方決定深度合作，在揚州成立合資公司，韓國10名研發人員將于7月來揚工作。”

目前，思普爾科技正在加快擴大產能。今年3月，思普爾科技與揚州高新區簽約，分三期投資上馬半導體設備研發制造及6英寸芯片實驗線項目：一期計劃今年10月建成并投入使用;二期將加強自主研發和技術引進，制造注入機、光刻機、金屬濺射臺、深槽刻蝕機，預計2023年12月底前實施到位;三期將建設特殊工藝的芯片生產線及成品封裝生產線。

思普爾科技的發展脈動，是我市半導體產業不斷補鏈的生動掠影。今年4月，在江都經開區，等離子集成電路清洗設備項目正式投產，填補了我市半導體清洗(凈化)設備制造的空白;去年下半年，在維揚經開區，揚州摩笛爾電子材料有限公司完成三氟碘甲烷氣體的中試，填補了我市半導體制造基礎性材料——高純度電子氣體制造的空白……

開工項目數占比近1/3，電子信息制造產業加快擴鏈補鏈強鏈

經過多年發展，我市企業在分立器件、無線射頻標簽、傳感器件、新型顯示等細分領域形成了一定的比較優勢，涌現出一批頭部企業：揚杰電子連續兩年在國內功率器件(屬半導體分立器件類)制造領域排名前兩位，川奇光電引領全球電子紙技術，無線射頻標簽年產量持續保持全球第二、亞洲第一，奧力威的車用油量傳感器市場規模國內第一……

在分立器件制造企業中，揚州既有名宿也有新秀。晶新微電子和四菱電子的發展最早可追溯到上世紀60年代;揚杰電子于2006年成立，近年來依托資本市場，加快項目布局，已成長為行業領軍企業。去年上半年，揚杰電子開工建設8英寸晶圓和集成電路封測項目，開始向高端功率器件領域進軍。

揚杰電子新上技改項目，是全市電子信息制造產業規模快速擴張的生動案例。近年來，隨著市場需求不斷擴大，我市電子信息制造項目開工數量明顯增加，產業規模正在不斷擴大。

據統計，2019年至今年一季度，全市共有22個電子信息制造項目開工，其中2019年、2020年分別開工7個項目，今年一季度開工8個項目。一季度投資額最大的是磷酸鐵鋰離子儲能電池基地三期，由江蘇中興派能電池有限公司總投資15億元建設。

此外，在光伏產業中，一批重大項目相繼開工建設也在加速產業集聚。據統計，2019年至今年一季度，全市共有12個重大項目開工。其中今年一季度有3個項目開工，投資額最大的是2.5GW光伏組件生產線技術改造項目，由中環艾能(高郵)能源科技有限公司投資20億元建設。

據統計，2019年至今年一季度，在新開工制造業重大項目(含技改)中，電子信息制造業項目占比接近三分之一。

搶抓產業發展風口，打造特色工藝集成電路“芯”高地

據了解，我市電子信息制造產業擁有規上企業超過300家，2020年主營業務收入接近900億元。

梳理產業布局，各個板塊定位鮮明：邗江區揚州微電子產業園、市開發區新光源產業園和光伏產業園、高郵“中國路燈制造基地”和光儲充產業園、儀征市中興派能儲能電池產業園、寶應縣智能終端產業園、江都區創維智能顯示產業園……一批新老專業園區相互補充，正在形成相對健全的產業生態。

一個個正在進行的技術攻關項目，不但彰顯著企業科技創新的活力，更為產業高質量發展蓄勢賦能：圍繞5G應用場景，揚企正在研發5G基站高穩定電容器用電極箔、5G無源器件;圍繞精準3D人臉識別，揚企正在研發光引擎用核心組件;圍繞多個消費應用場景，揚企正在研發超小尺寸芯片、適用于多介質表面貼附的無線射頻識別標簽……

當前，電子信息制造產業的市場需求不斷擴大，第四次工業革命到來，新基建、“碳達峰、碳中和”等國家戰略加快部署，電子信息制造產業迎來加速發展的機遇期。電子信息制造產業技術更新快、資金需求大、人才要求高、投資回報周期長，下一步我市將采取哪些措施，精準助力產業高質量發展?

“在揚州微電子產業園，引導企業依托半導體功率器件中試平臺，主攻中端功率器件和高端分立器件，打造特色工藝集成電路‘芯’高地。”市工信局有關負責人介紹，同時，加快完善儲能電池產業生態。結合我市鋰離子電池產業儲能產品強于動力產品的現狀，積極引進科技含量更高、技術更先進的龍頭企業的項目。積極向上爭取國網儲能試點示范應用項目在我市落地，為我市企業產品開拓市場創造條件。

“我市將引導企業聚焦新技術新應用，持續擴大光伏產業規模。”該負責人介紹，以高郵市光儲充產業園、市開發區揚州光伏新能源特色產業基地為載體，通過招引企業落戶和上馬技改項目，加快上下游配套項目集聚。